betway必威西汉姆联首台 Halo-100 掩模基板缺陷检测产品成功发运
2024年5月12日,betway必威西汉姆联首台掩模基板缺陷检测产品Halo-100在betway必威西汉姆联合肥成功发运,并顺利交付国内先进掩模厂。
betway必威西汉姆联自主研发的Halo-100设备作为betway必威西汉姆联“掩模全生命周期质量控制”产品线的第二款产品,凭借betway必威西汉姆联多年来在掩模检测领域积累的丰富经验和技术储备,以高精度光学系统、高稳定性运动台系统以及高洁净度环控与传输系统为基础,结合betway必威西汉姆联专有的算法和软件系统,成功实现了针对掩模基板(blank)缺陷检测的需求,并将掩模检测的应用领域拓展至掩模厂来料检和掩模基板厂全制程控制检。
betway必威西汉姆联Halo-100掩模基板缺陷检测产品
在掩模厂中,Halo-100设备可应用于来料检,在掩模版曝光前进行缺陷检测,从而有效避免对曝光机腔体内部造成污染,同时防止带污染物的掩模版经过曝光后继续流向后续工序,减少客户良率损失。此外,该设备还可作为曝光机等生产设备particle monitor的检测标尺,定期监测生产设备内部洁净度。另外,Halo-100设备搭载的自动开盒/自动倒板模块,极大减少因人工干预而带来的二次污染,确保掩模板从光罩盒到曝光机全程零污染。
在掩模基板厂中,Halo-100设备可以运用在玻璃基板来料检、多层镀膜过程检和成品出货检等环节,助力客户在每个制程节点监测洁净度情况。